Præcisionskrydsbord til wafer inspection

Præcisions-krydsbordet LMX leveret af os bruges til simultan inspektion af silicium-wafers.

Det skræddersyede krydsbord positionerer med µ-præcision i både X- og Y-retning med sin ultraflade drejeakse og arbejder også ekstremt hurtigt med 1 g acceleration. Vores lineære føringer, lineærmotorer og et rundbord, der er bygget på granit, bliver en bevægelsesenhed, der udfører både enkle håndteringsopgaver og yderst præcise positioneringsopgaver med minimal samlet højde og maksimal hul aksel.

Standardiserede drivkomponenter bliver kundespecifikke præcisionssystemer som fra et modulært system. Der findes en lang række avancerede, standardiserede systemer, som takket være deres modulære design kan tilpasses præcist. Vores eksperter skaber sammen med dig det rigtige koncept til dit præcisionssystem. Læs mere om vores præcisionsakser og præcisionssystemer her.

Krav:

• µ-præcise bevægelser
• Ekstremt høje accelerationer
• Høj præcision og gentagelsesnøjagtighed

Anvendelsesområder:

• Halvlederindustri